二手真空镀膜机 光驰OTFC-1800镀膜机 滤光片镀膜机
,**我要和大家分享一款名为OTFC-1800的真空镀膜装置。&13580815174#它不仅具备***的光学薄膜形成装置,还能够通过搭载离子源实现***光学滤光片的量产。
OTFC系列是***用于生产红外截止滤光片、分色滤光片等成膜的真空镀膜装置。它的机器配置非常强大,真空室采用SUS304材质,直径为1550毫米,高度为1800毫米,工件架直径为1400毫米,转速可变,光学膜厚控制采用HOM2--R--VIS350A技术,光学膜厚监控仪波长范围为350纳米到1100纳米,是反射式的。
蒸发源采用了两套日本电子24P双枪,离子源则是23寸光驰RF离子源。排气系统则是机械泵和扩散泵Polycold 日本爱发科2401+1200A。性能方面,它可以达到压力7.0X10-5Pa以下,排气时间为20分钟(大气压~1.3X10-3Pa),基板温度可达350摄氏度。
工作条件方面,它需要3相、200伏特、50/60赫兹的电源,大约需要120千瓦的电力,水流量为180升/分钟以上,空气压力为0.5兆帕以上。整个装置重量约为11200公斤。
真空室:SUS304,Ф1550*1800MM |
工件架:Ф1400 |
工件架转速:10rpm to 30rpm (可变) |
光学膜厚控制:HOM2- -R -VIS350A |
光学膜厚监控仪:波长范围: 350nm to 1100nm |反射式 |
水晶式膜厚计:XTC/3+6点式水晶传感器 |
蒸发源:2套日本电子24P双枪 |
离子源:23寸光驰RF离子源 |
排气系统:机械泵1个,扩散泵Polycold 日本爱发科2401+1200A |
性能 |
达到压力:7. 0X10-5Pa以下 |
排气时间:20分(大气压~1. 3X 10-3Pa) |
基板温度:: 350C |
工作条件 |
电源:3相, 200v, 50/ 60Hz,约120KVA |
水流量:180升/分以上 |
空气压力:0.5MPa以上 |
重量:约11200kg |
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